一、螺桿式真空泵特點(diǎn) 
　　螺桿式真空泵脫胎于螺桿式壓縮機(jī)與螺桿液體輸送泵，是容積式真空泵中一種較為理想的干式真空泵。它能提供清潔無油的真空環(huán)境，并且對腐蝕性氣體、可凝性蒸氣、含粉塵顆粒氣體有較強(qiáng)適應(yīng)性，因此在電子半導(dǎo)體、制藥、石化等一些對清潔真空環(huán)境要求嚴(yán)格、氣體成分復(fù)雜的行業(yè)領(lǐng)域，螺桿式真空泵備受青睞，逐漸成為傳統(tǒng)油封機(jī)械泵、液環(huán)泵的換代產(chǎn)品。 
　　螺桿式真空泵通過一對非對稱螺桿轉(zhuǎn)子的相向運(yùn)動，來周期性改變齒間容積實現(xiàn)輸送氣體，達(dá)到抽氣的目的。它具有以下特點(diǎn)： 
　　1、清潔無油，多相混輸，適應(yīng)性廣泛。螺桿式真空泵轉(zhuǎn)子間存在嚴(yán)格間隙，泵腔內(nèi)無油，可抽除腐蝕性氣體、有毒及含粉塵、可凝性蒸氣等復(fù)雜氣體。 
　　2、結(jié)構(gòu)簡單，動平衡好，可靠性高。螺桿式真空泵零部件少，核心部件無易損件，也無不平衡慣性力，運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長。 
　　3、因結(jié)構(gòu)簡單，零部件少，所以操作、維修維護(hù)簡便。 
　　4、強(qiáng)制輸氣，可以在寬壓力范圍內(nèi)保證較大抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力影響。 

　　二、螺桿式真空泵的結(jié)構(gòu) 
　　螺桿式真空泵一般是雙螺桿結(jié)構(gòu)。螺桿式真空泵是通過一對非對稱螺桿轉(zhuǎn)子，在泵腔中作同步、高速反向運(yùn)轉(zhuǎn)，周期性改變齒間容積而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。 
　　它的主要結(jié)構(gòu)包括螺桿轉(zhuǎn)子、軸承、泵體、密封等。螺桿轉(zhuǎn)子經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵腔中，螺桿與螺桿之間維持嚴(yán)格一定的間隙。泵工作時，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，腔內(nèi)無需潤滑油。因此，螺桿式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空高，消耗功率低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。 

　　螺桿式真空泵主要結(jié)構(gòu) 
　　上圖可見，螺桿式真空泵在結(jié)構(gòu)上比較簡單。形式上，螺桿式真空泵有臥式和立式之分；依據(jù)螺桿轉(zhuǎn)子型線的不同又可分為單頭螺桿式真空泵與多頭螺桿式真空泵；單頭螺桿式真空泵根據(jù)轉(zhuǎn)子螺距的不同，可分為等螺距螺桿式真空泵與變螺距螺桿式真空泵，變螺距中又可細(xì)分為一段式、兩段式、三段式等。 
　　多頭型線在一個導(dǎo)程內(nèi)即能完成吸氣、壓縮、排氣過程，導(dǎo)程少，可有效減少泵的體積與重量，適用于大抽速領(lǐng)域，但其型線復(fù)雜，需特制道具與專用機(jī)床，加工費(fèi)用昂貴，且由于泄漏三角的因素，真空度不高，因此市場上并不多見。 
　　單頭型線適用于中小型螺桿式真空泵，市場上也多為單頭螺桿式真空泵。其中等螺距螺桿式真空泵腔內(nèi)無壓縮，可以輕松排出固體顆粒與可凝性氣體，但其排氣溫度與能耗度較高；變螺距螺桿式真空泵腔內(nèi)有壓縮，排氣溫度低、能耗低，但對粉塵顆粒以及可凝性氣體的耐受性不如等螺距。

　　
　　三、螺桿式真空泵的工作原理 
　　因為是脫胎于螺桿式壓縮機(jī)，所以螺桿式真空泵的工作原理也與螺桿式壓縮機(jī)類似。我們以近似的多頭型線的來闡述： 
　　1、吸氣過程 
　　a、吸氣過程即將開始     
　　b、吸氣過程中        
　　c、吸氣過程結(jié)束 
      
　　2、壓縮過程 
　　a、壓縮過程開始        
　　b、壓縮過程中        
　　c、壓縮過程結(jié)束排氣開始 
　　
　　3、排氣過程 
　　a、排氣過程中                   
       b、排氣過程結(jié)束 
　　螺桿式真空泵的排氣過程。齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。 
　　
　　四、螺桿式真空泵的應(yīng)用
　　螺桿式真空泵不僅適應(yīng)性廣泛，可以在惡劣條件下抽氣，同時可以達(dá)到較高真空度（0.1～1Pa）。因此，隨著半導(dǎo)體、石化行業(yè)的快速發(fā)展，螺桿式真空泵作為一種理想干泵也開始廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、醫(yī)藥化工領(lǐng)域，如半導(dǎo)體行業(yè)的氣相沉積、蝕刻，醫(yī)藥化工行業(yè)的蒸餾干燥、中間體、溶劑回收、油氣回收等。 
　　雖然由于型線技術(shù)以及加工上的成本導(dǎo)致螺桿式真空泵購置費(fèi)用較為昂貴，但從長遠(yuǎn)來說，其寬適應(yīng)、高效節(jié)能環(huán)保的特性以及低故障維修率，能在運(yùn)行周期內(nèi)給企業(yè)帶來更高的綜合效益與社會環(huán)境效益，使用的更加廣泛性必是未來的趨勢。